Ellipsometer

Reflete isto à superfície da amostra, e luz pedida emprestado acontece quando eu expuser uma amostra para iluminar. Eu posso dividir a luz pedida emprestado em dois ingredientes de luz p-polarizada e a luz s-polarizada, e esta polarização declara chama tal um método para medida com ellipsometry porque geralmente está em um oval (petit de Eli Cal). Eu avalio a ótica fixou número ou as densidades de filme da amostra mudando o comprimento de onda da luz para expor uma amostra para, e medindo diferença de fase. (delta) e relação de amplidão. (psi) da luz pedida emprestado.

Não só a avaliação membranosa que era possível para mas também a avaliação de processo membranosa (o Em-situ medida) que fabrica isto é possível depois que a medida for possível em nondestructiveness como é medidas ópticas como tempo de medida é curto e termina isto. Como também o número fixo óptico e espessura de filme, eu posso executar reflectance, transmissivity, uma avaliação da estrutura de faixa, avaliações como a densidade de portador escolhendo o comprimento de onda da luz para acertar.

Como eu meço luz pedida emprestado, flatness de superfície é buscado. É considerado que o número de parte de comprimentos de onda da luz para acertar é um limite. Além disso, a medida fica difícil porque o filme de metal que absorve luz vem ter pouco pedido emprestado luz. Depende de um tipo de metal, mas umas densidades de filme de número 100nm se tornam o limite de medida totalmente. Cada densidades de filme quando filmes plurais laminado está disponível para a medida, mas as suposições das camadas de interface isso neste caso existe entre um filme e filmes podem ser necessários, e é necessário pôr para cima um modelo, e simular um cálculo. Então um cálculo é complicado, e a interpretação do resultado pode ficar difícil.

Um dispositivo número modelo: SE-2000 Japão semi-laboratório
Tempo de introdução: Fevereiro, 2016

É 6,400 iene em umas densidades de filme, a medida de número fixa óptica 1 amostra 1 ponto de medida

• Eu faço a soma da taxa de materiais especiais, uma coisa que precisa de trabalho e um estudo ou a investigação com o equivalency de despesas atual soma sobre um exame, análise ou uma preparação.
• Eu faço a soma da taxa da coisa que fixa um prazo em particular, e sou urgente ou a taxa para uso com uma soma 2 vezes tão grande quanto uma soma fixe.
• Seja uma pessoa que tem um escritório ou um escritório em Yokohama-shiMédio e negócio pequeno-de tamanho (o local externo) que eram fixo em lei fundamental de empreendimentos pequenos e médios Artigo 2Soma (quando houver uma fração menos de 100 iene, eu arredondo fora a quantia de fração de dinheiro a 100 iene.) de 1.3 vezes da soma para fixar a soma de uma taxa para afetar um pedido de.. ou a taxa para modificar um exame de filme por umas densidades de filme, a ótica fixou medida de número para modificar o pedido da pessoa menos o negócio médio e pequeno-de tamanho que é a pessoa que não tem o escritório de cidade ou um escritório, e era fixo do artigo Eu faço isto.